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亚搏手机版网页登陆 2nm半导体工艺迎来新冲破 只需一个家用微波炉

时间:2022-09-19 06:28 点击:141 次

亚搏手机版网页登陆 2nm半导体工艺迎来新冲破 只需一个家用微波炉

IT之家 9 月 12 日音问,近日,康奈尔大学的科学家们使用一个阅兵的家用微波炉冲破了 2nm 半导体工艺出产的紧要退却,论文已发表于 Applied Physics Letters。

为了使半导体工艺不休削弱,硅必须掺杂越来越高的磷浓度,以促进准确和涌现的电流传输。就当今而言,跟着业界开动大限度出产 3nm 组件,传统的退火技艺仍然灵验。联系词,跟着精度进一步提高,需要确保高于其在硅中的均衡融化度的磷浓度。除了杀青更高的浓度水平外,一致性关于制造功能性半导体材料也至关进击。

台积电此前臆想,微波可用于退火(加热)历程,以促进增多磷的掺杂浓度。联系词,昔时的微波加热源频频会产生驻波,新闻中心从而不利于加热的一致性。简便来说,昔时的微波退火成就加热本体物会加热不均匀。

值得一提的是,之前《麦登橄榄球23》就以同种方式被泄露过,因此玩家的猜测也算有例可援。

康奈尔大学的科学家得到了台积电的撑持,开展微波退火经营。本周早些时辰,康奈尔大学发表了一篇由此产生的论文,科学家们得出论断,由于他们先进的微波退火技艺,还是“得胜克服了高于融化度的高而涌现掺杂的基本挑战”。

该论文名为“通过微波退火对掺杂逾越其融化度极限的磷的纳米片硅进行灵验且涌现的活化”。该技艺适用于最新的纳米片晶体管技艺,而台积电还是暗意将使用 2nm 的纳米片来出产环栅场效应晶体管 (GAAFET)。

IT之家了解到,该论文的主要作家,材料科学与工程系经营阐发 James Hwang 告诉康奈尔新闻博客:“这种新的微波技艺可能使台积电和三星等率先制造商简略削弱到 2nm。”

这项经营将赓续进行亚搏手机版网页登陆,何况还是得回了进一步的资金。

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